От материала инструмента, применяемого при электроэрозионной обработке, зависит его износ, допускаемый электрический режим, а следовательно, и производительность процесса. Наиболее употребительными являются электроды из красной меди, алюминия и его сплавов, серого чугуна, из графитизировацного материала ЭЭГ и твердого сплава.

Наибольшее признание нашли электроды из графитизированного материала ЭЭГ. Они отличаются не только высокой стойкостью, но и низкой стоимостью и хорошей обрабатываемостью.

В качестве рабочей жидкости при электроэрозионной обработке применяются: а) масло «индустриальное 12» или трансформаторное масло — при обработке крупных полостей штампов из стали в условиях, когда обеспечено хорошее удаление отходов, при требованиях к шероховатости не выше 4-5-го класса; б) смесь масла «индустриального 12» с керосином в соотношении 1:1 — при обработке штампов среднего размера из стали, магнитных, жаропрочных и твердых сплавов, когда удаление отходов затруднено, а требования к шероховатости соответствуют 5-6-му классам; в) керосин — при обработке небольших деталей из твердого сплава, стали и других сплавов при шероховатости 6-7-го класса.

По мере загрязнения и ухудшения физических свойств жидкость подлежит замене. Прокачивание жидкости через межэлектродный зазор способствует повышению и производительности, и точности обработки. Подвод жидкости должен осуществляться через отверстия малого диаметра.

Отечественной промышленностью выпускаются станки для электроэрозионной обработки производительностью при обработке стали до 1500 мм³/мин (электроимпульсная), до 600 мм3/мин (электроискровая); при обработке твердого сплава — 100-120 мм³/мин, позволяющие получать шероховатость обрабатываемой поверхности деталей Ra = 5-10 мкм для стали и Ra = 1,25-2,5 мкм для твердых сплавов.

Основной частью электроэрозионных станков являются генераторы импульсов. Принципы их действия и конструкции различны, но общим является то, что они не должны допускать превращения импульсного характера разряда в стабильный дуговой разряд. Кроме того, они должны поддерживать униполярность, т. е. определенную направленность импульсов. Основными типами генераторов являются генераторы с накопителями энергии в виде конденсаторов (RC, RLC и СС-генераторы), тиратронные генераторы, машинно-тиратронные генераторы полупроводниковые и другие.

Промышленностью выпускается гамма универсальных и специальных электроэрозионных станков, обеспечивающих энергию единичного импульса в несколько джоулей и частоту импульса более 1000 Гц.