В отличие от других методов безразмерного травления химическое полирование обладает выравнивающим и глянцующим эффектами. Минимальная величина шероховатости после химического полирования Ra = 0,32 мкм. Микронеровности менее 0,01 мкм выравниваются, в результате появляется металлический блеск. Химическое полирование применяется для деталей из алюминиевых сплавов, меди, никеля, цинка, а также стали.

Типовые растворы для химического полирования деталей:
• из алюминиевых сплавов — 25 мл H₂SO₄, 70 мл ортофосфорной кислоты, 5 мл азотной кислоты, t = 85 °С;
• из медных сплавов — 80 мл HNO₃ и 20 мл Н₂O, t = 40 °С;
• из железных сплавов — 80 мл Н₂O, 20 мл щавелевой кислоты (100 г/л) и 4 мл перекиси водорода (30%), t = 35 °С.

Недостатки химического полирования:
• малый срок службы растворов, трудность их коррекции и регенерации;
• выделение токсичных газов;

Преимущества; высокая производительность при длительности процесса 1-2 мин.
В промышленности наибольшее распространение получило полирование алюминия, меди и их сплавов.